【深铭易购】资讯:据报道,苹果正在研发用于下一代有机发光二极管(OLED)面板的高迁移率氧化物(HMO)技术,希望将其应用于未来MacBook、iMac等高端设备的高分辨率OLED显示屏。
在技术研发方面,苹果优先考虑沿用现有溅射工艺,以控制设备投资和生产成本。虽然原子层沉积(ALD)技术能够更精确地控制薄膜厚度和材料特性,但其设备及原材料成本较高。因此,苹果正在评估成本相对较低的溅射工艺能否满足HMO技术的性能要求。
目前,高端OLED面板主要采用低温多晶硅氧化物(LTPO)技术,结合硅半导体与氧化物半导体实现显示驱动。如果HMO技术能够达到所需的电子迁移率和可靠性,未来部分硅基工艺有望由氧化物半导体替代,从而简化面板制造流程,并降低生产成本。
三星显示和LG显示均在推进相关技术研发。 三星显示正在开发基于溅射工艺的HMO技术,同时验证ALD方案,重点评估其在大尺寸基板上能否达到苹果要求的电子迁移率和可靠性。
LG显示则在第6代中小尺寸OLED产线上开发溅射型HMO技术,并同步开展ALD研究。去年,该公司曾展示采用ALD工艺制备的氧化物薄膜晶体管(TFT)OLED样品,其电子迁移率达到约40cm²/V·s。不过,考虑到新增设备带来的资本支出压力,LG显示目前更倾向于利用现有溅射设备推进相关技术。
从工艺原理来看,溅射和ALD都是制造TFT超薄半导体层的重要沉积技术。溅射通过等离子体轰击固体靶材,使原子脱离靶材并沉积到基板表面,能够利用现有OLED产线设备,但需要进一步优化材料成分和薄膜结构,才能兼顾电子迁移率与长期可靠性。
相比之下,ALD利用气态前驱体逐层沉积材料,可以在原子层级别精确控制薄膜厚度和成分,有利于提高半导体层的电学性能与稳定性,但设备投资和前驱体材料成本相对较高。
总体来看,苹果及面板厂商正在探索HMO技术的量产可行性。如何在保证高电子迁移率和器件可靠性的同时,降低设备投资与制造成本,将成为这项技术未来应用于高端OLED面板的关键。
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