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台积电2nm工艺缺陷密度创新低,预计Q4按期量产
发布日期:2025-04-28浏览量:4

【深铭易购】资讯:近日,台积电在北美技术研讨会上正式公布了其N2(2纳米)工艺在同阶段相较于前代制程的缺陷密度(D0)数据。官方数据显示,N2工艺的缺陷密度显著低于N3(3纳米)、N5(5纳米)和N7(7纳米)节点,展现出优异的制程控制能力。同时,幻灯片内容也显示,N2距离量产仅剩约两个季度,台积电有望按计划于2025年第四季度末正式开始2纳米芯片的量产。

值得注意的是,N2是台积电首个采用全环绕栅极(GAA)纳米片晶体管架构的工艺节点。尽管引入了新型晶体管结构,其缺陷密度在相同阶段已优于前代制程,并比量产前提前两个季度实现了大幅下降。相比之下,N3/N3P、N5/N4和N7/N6等前代工艺均基于成熟的鳍式场效应晶体管(FinFET)技术,这一对比更加凸显了N2制程在良率提升方面的突出表现。

从台积电提供的缺陷密度趋势图来看,时间跨度覆盖了量产前三个季度至量产后六个季度。各节点(N7/N6 - 绿色、N5/N4 - 紫色、N3/N3P - 红色、N2 - 蓝色)的缺陷密度均随着时间推移而显著下降,但下降速度因节点复杂度而有所不同。其中,N5/N4在早期阶段的缺陷改善最为迅速,而N7/N6的良率提升相对平缓。虽然N2初期缺陷密度略高于N5/N4,但其下降趋势迅猛,与N3/N3P的轨迹非常接近,显示出良好的工艺优化潜力。

台积电特别强调,产量规模与产品多样性是加速缺陷密度改善的关键因素。更高的产出量和丰富的产品组合有助于更快速识别与修正缺陷问题,从而缩短学习周期,提升整体良率。当前,台积电已为智能手机及高性能计算(HPC)领域的客户进行N2工艺的风险量产,新流片数量较前代大幅增加,这一趋势也在缺陷密度下降曲线中得到了充分印证。

尤其值得关注的是,尽管N2引入了全新的GAAFET架构,其缺陷密度下降曲线仍与基于FinFET的节点保持一致。这表明台积电在向新一代晶体管技术过渡过程中,成功继承并优化了其在制程学习与缺陷管理方面的深厚经验,确保了N2工艺的稳健发展,未遭遇重大技术障碍。